当社（以下、「TRC」）は、このたび、高分解能アナライザーを搭載した最新の飛行時間型二次イオン質量分析（Time-Of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry：TOF-SIMS）装置(*1)を導入し、本装置による分析サービスを開始しました。本装置では含有元素組成や化学構造の定性分析能力や、化学成分の空間的な分布の分析能力が大幅に向上しています。高性能な本装置と、TRCで長年培われたTOF-SIMS分析における高度な解析力、前処理技術を組み合わせることで、表面や界面の化学状態に関する、より信頼度の高い分析結果をご提供することができるようになりました。サステナブル社会に欠かせない各種電池の充放電特性に重要な電極被膜の状態、DXを支える情報デバイス中枢の微細積層膜や有機エレクトロニクスデバイスの有機積層膜などの材料表面や界面が関わる広範な分野の研究・開発において、特性や歩留まりの改善のような課題解決に大きく貢献できることが期待されます。
今後も「高度な技術で社会に貢献する」という当社の基本理念に基づき、より一層の技術水準の向上に努めていくと共に、最新の先端分析サービスをいち早く提供し、少しでもお客様の製品開発に役立てるように、今後も最先端分析技術の開発に邁進して参ります。
　
【背景】
　材料の表面は物質の最も外側の部分であり、反応性、導電・絶縁性、帯電性、接着・剥離性、分散・凝集性、吸着性、濡れ性といった様々な物性に対して重要な役割を果たします。例えば、リチウムイオン電池の電極表面に形成される被膜は充放電特性に大きな影響を与えることが知られており、被膜の成分や厚み、それらの変化を明らかにすることで、特性向上の指針を得ることができます。また、スマートフォンなどの先端デバイスには、半導体部品の微細積層膜や有機ELパネルなどの多層構造の部材が広く採用されています。これらの材料の表面や界面の状態は導電性や発光性などに大きく影響を与えます。しかし、材料表面や界面の状態は、空気や水、その他の汚染などにより変化しやすいので、これらの状態を正確に調べ、把握することで、材料の特性や機能を最大限に引き出すことができると考えられます。
　
【今回の成果の重要性】
　新装置と従来装置で得られた質量スペクトル(*2)の比較を図1に示します。新装置では質量分解能 (*3)が大きく向上したことでピークがシャープになり、より精密な質量演算が可能となった結果、定性分析能力が大幅に向上しました(従来比3.5倍)。また、質量の近い物質をより明確に区別できるので、含有元素の組成比を正確に把握することができます。面内分布や深さ方向分布の解析も一層正確に分析することができます。