形態科学研究部では、TEMベースの結晶方位解析システム“ASTAR”を導入いたしました。SEMをベースにしたEBSDよりも空間分解能が～5nmと高いこと、識別できる結晶構造が多いことが特長です。通常のTEM解析では困難な結晶方位マップや結晶相マップ、粒径分布などを得ることで定量的に解析できます。TEM観察と同一視野で測定できますので、(s)TEM-EDX/EELSと合わせた複合的な解析やIn-Situ TEMとの併用も可能です。半導体デバイス、電子部品、金属、セラミックスなど、主に無機材料に対して適用できます。お気軽にお問い合わせください。