→終了しました。当社ブースにお立ち寄りいただきありがとうございました。
　

口頭発表

　2017年9月6日(水) 15:15 ～ 15:45
　シンポジウム(口頭講演)
　　　シンポジウム » 新デバイス・材料開発のためのナノスケール３次元分析（Ｉ）
　　　[6p-C19-4] FIBSEMとの組み合わせによるナノスケール解析
　　　○加藤 淳、木村 耕輔、久留島 康輔、清水 夕美子、内城 貴則、安田 光伸

　　　高精度の断面加工と高分解能SEM観察を特徴とするFIB/SEM複合機を用いて、
　　　微小領域のサンプリングと各種観察・分析手法を組み合わせた評価事例や三次元解析事例を紹介し、
　　　評価方法の有効性や課題について議論する。



ランチョンセミナー

　◆ 日時：2017年9月7日(木)　12:15～13:00
　◆ 会場：A201
　◆ 演題：
　　　１．【半導体】パワーデバイス開発を支える素子評価技術
　　　２．【太陽電池】太陽電池セル・モジュールの分析技術紹介



ブース出展

　福岡国際センター
　　ブース番号：M-9

　◆展示ポスター：
　　【半導体】
　　 　・高周波用GaN系HEMT素子の界面構想解析-SCM・EDX・EELS-　
　　 　・絶縁膜の膜中および界面の欠陥評価　
　　 　・NanoSIMS,TOF-SIMSによる半導体デバイスの分析
　　 　・高速・高感度CLによる先端デバイスの欠陥評価
　　 　・極薄膜の膜質および界面非破壊評価
　　 　・μ-PCDによる半導体中キャリア寿命の評価
　　 　・DPC-STEM法によるデバイス評価
　　 　・ｓＭＩＭによる微小領域の電気特性評価
　　 　・Si＆SiC基板の高感度不純物分析　―ICP-MS―
　　【太陽電池】
　　 　・経年使用太陽電池モジュールの劣化解析
　　 　・ペロブスカイト型太陽電池のSTEM観察
　　【ライフイノベーション】
　　 　・バイオセンサーの分析評価　
　　 　・電子顕微鏡法のライフサイエンス材料への適用