2021年3月2日
東レリサーチセンター
マイクロビーム搭載 新規RBS 稼働しました
高機能イオン散乱分析装置であるPelletron 5SDH-2を、受託分析会社として世界で初めて導入しました。近年、各種デバイスの高集積化に伴い、局所領域における評価が製品開発、機能向上のために極めて重要と考えられています。本装置では、ラザフォード後方散乱分光法(RBS)やその関連手法において、高速イオンビームを最小1 μmφまで収束可能なマイクロビームラインを兼ね備えており、微小部における正確な組成・密度分析が可能となります。また、入射イオン種の増加、加速エネルギーの高速化により、従来と比較し軽元素の大幅な感度向上、重元素の質量分解能向上を実現しました。
装置面の能力向上に加え、当社がこれまで培ってきた測定対象試料の高度前処理技術、各種材料に関する蓄積した知見を活かし、半導体、ディスプレイ、全固体電池に代表される各種先端デバイスへの適用を進め、お客様の研究、試作、生産各フェーズにおける有用な分析を提供してまいります。