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2018年12月12日
東レリサーチセンター
最先端SIMS分析装置「NanoSIMS 50L」が稼働しました

 先日導入いたしました最先端二次イオン質量分析装置「NanoSIMS 50L」が12月17日に稼働いたします。本装置は50 nmの空間分解能で元素分析が可能であり、従来型SIMSに比べて、格段に小さい領域にて高感度イメージング測定を行うことができます。半導体やセラミックスからライフイノベーション分野に至る様々なフィールドでの活用を予定しています。ぜひお問合せください。    

NanoSIMS 50L

◆50 nmの高い空間分解能
◆高い検出感度 ; アトムプローブより高感度
◆高い質量分解能 ; 質量干渉のない測定が可能
◆深さ方向イメージング測定可が可能