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2021年7月21日
学会発表のお知らせ(応用物理学会 秋期学術講演会)

第82回応用物理学会秋期学術講演会において、以下の発表を行います。 是非ご参加、ご視聴ください。 ●ポスター発表;オンライン開催、2021年9月23日(木) ○[23a-P11-17]ワイドバンドギャップ半導体評価用連続温度可変フォトルミネッセンス装置(11:00 〜 12:40) ○[23p-P09-2] TEMを用いた4H-SiCエピウエハ中積層欠陥複合体の起点解析(13:00 〜 14:40)