電荷輸送特性の向上や劣化機構の理解に不可欠な情報である積層膜中のバンドダイアグラムを、東レリサーチセンターが開発した低損傷REELS測定技術と、X線光電子分光法(XPS)を用いて分析した事例についてご紹介します。
また、耐久性や寿命、発光効率に関わるパネル中の共蒸着膜の比率やドーパント比を精度良く測定する手法や、プラズマFIB(PFIB)-SEMをはじめとした新規導入装置を利用した分析事例もご紹介いたしますので、是非、ご視聴ください。

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