新規サブミクロン赤外分光による微小部組成分析

07/16/2019

No.0375 新規サブミクロン赤外分光による微小部組成分析

光熱変換を利用した新規装置(O-PTIR)では、サブミクロンの空間分解能、かつ、非接触での赤外分析が可能となる。これにより、基板上異物や複合材料、含水試料の測定など従来の赤外分析では困難であった材料、空間分解能での組成分析が可能となる。

光熱変換分光法：O-PTIR (Optical Photothermal IR Spectroscopy)


◇O-PTIRの特徴・　サブミクロン（約500nm）の空間分解能で赤外吸収スペクトル測定やスペクトルイメージングが可能・　FT-IRと同様のスペクトルを取得可能・　反射測定のため試料と非接触で測定可能であり、薄片化などの高度な前処理が不要

◎ μm～nmオーダの赤外分析に対応可能		◇O-PTIRの適用範囲・　高分子材料一般（工業材料、実装材料、医療材料など）・　生体試料（毛髪、皮膚、組織など）・　薬剤、医薬品・　異物 ◇得られる情報・　組成とその分布 (積層フィルム、異物、浸透・拡散・相溶) ・　反応分布（劣化(構造変)、接着(硬化度)） ◇Raman分光器も設置しており、IR+Ramanの同時測定が可能。サブμmの空間分解能で官能基(有機、無機)・構造情報を取得できる。(国内初導入)

	◇測定対象物が赤外光を吸収し、試料および周辺媒体が膨張 ◇同軸で入射されたプローブ光(可視光：532nm)の散乱強度　変化を検出して赤外スペクトルを取得

適用事例紹介

液晶ディスプレイパネル上の付着異物分析

◎サンプリングせずに数μm程度の異物の組成分析が可能

ポリイミドフィルムの厚み方向の加水分解評価

◎サブμmの空間分解能で組成変化を検出することが可能