NanoSIMSによる金属材料の元素分析

11/18/2019

No.0384 NanoSIMSによる金属材料の元素分析

NanoSIMSは、SIMS(二次イオン質量分析)の中で最も空間分解能が高く、同時に高い感度、高い質量分解能を両立することが可能な装置である。今回は金属材料に含まれる不純物元素をNanoSIMSによるイメージング分析で評価した事例を紹介する。

NanoSIMSの装置構成、スペック



Imaging ＆ Depth Profile SIMSで最も高い空間分解能二次イオン光学系の高い透過率磁場セクタ型による高い質量分解能	1次イオン種　：Cs⁺, O^- 最小ビーム径　：50 nm 検出下限　：ppm～質量分析計　：二重収束型同時測定イオン数　：7 分析深さ　：数10 nm ~ 数100 nm

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