07/14/2015
No.0252 AFM-IRの新規測定法による応用展開
AFM-IRは空間分解能約100 nmで構造解析が可能な手法であるが、試料の薄片化が必須という制約があった。前処理方法や測定方法を改良することで、これまで分析困難であった金属／有機膜界面の構造解析、薄膜の面内組成分布分析が可能となった。
●AFM-IRの原理と特長
●金属／有機膜界面の構造解析
FIBを用いた薄片化により、ミクロトームで薄片化困難な試料でも、AFM-IRによるナノメートルスケールでの構造解析が可能である。接着機構解明などに適用できる。
分析例
銅上のポリイミド膜：
基板との界面数100 nmでカルボン酸塩が生成している。接着性能に影響する可能性あり。
●Siウエハ上薄膜の面内組成分布分析
サンプリングや薄片化が困難な場合でも新規測定法により分析可能
・薄膜の面内方向の組成分布分析 （レジスト、有機薄膜太陽電池、等）
・Siウエハ上の極微小有機異物（＜1μm）の組成分析
分析例
PS（ポリスチレン）／PVME（ポリビニルメチルエーテル）系のキャスト膜：
島状部がPVMEリッチであることが分かる。薄膜の面内方向の組成分布分析が可能。
従来と同程度のＳ／Ｎで測定可能。
カテゴリー
材料・素材
分類
複合材料