クリーンルーム用シリコーンシーラントをガラス上に厚さ1mmとなるように塗布してクリーンルーム内に放置し、一定時間経過毎に発生ガスを吸着剤に捕集、熱脱離GC/MS法により分析を行った結果を示す。

塗布直後の0dayでは硬化剤MEKOや低沸点のシロキサンが多量に発生すること、時間が経過すると発生成分が高沸点成分に移行することなどがわかった。