μRBSによる微小部での高確度組成分析

03/31/2022

No.0591 μRBSによる微小部での高確度組成分析

受託分析会社として世界初となる、収束型マイクロイオンビームラインを備えたRBS装置を導入した。高速イオンビームを用いることで、局所領域の正確な組成評価が実現可能となった。

微小部の組成分析

微小部における組成分析のアプリケーション

　　　　　　　　　　　　デバイス　　　　　　　　　　　　　　　　　　単粒子　　　　　　　　　　　　断面加工サンプル

【 µRBSの特徴】

　・確度の高い絶対組成
　・全元素定量(Hも可能)
　・核反応による軽元素の高感度測定(NRA)
　・薄膜密度分析
　・受託分析会社として世界初導入

µRBS (microbeam Rutherford Backscattering Spectrometry)分析

ディスプレイ材料(YAG粒子)における適用例

◆ 断面SEM像	◆ µRBS解析結果
(LED素子をBIB加工で断面作成) 素子断面からYAG単粒子を限定して測定可能

◆ 各モードの原理
RBS : Rutherford Backscattering Spectrometry (散乱された入射イオンを分析) HFS : Hydrogen Forward Scattering Spectrometry (反跳した水素原子を分析) NRA : Nuclear Reaction Analysis (核反応によって生じた放射線を分析)

定量確度の高いRBS分析がµmオーダーの空間分解能で可能になりました。

カテゴリー

自動車, IT機器, 半導体・実装

分類

有機ELディスプレイ, 実装・パッケージング, 化合物半導体・オプトデバイス, MEMS・センサ・TSV