09/26/2014
No.0101 RBS/HFS法による粉末試料組成分析
水素を定量できる分析手法として、RBS/HFS法がある。2MeV程度に加速したHeイオンを試料に照射し、後方散乱されたHe原子、前方散乱されたH原子を検出する(図1) それぞれのエネルギースペクトルを解析すれば、水素を含めた確度の高い組成値が得られる。
図1 RBS/HFS法の測定原理
試料調整方法を検討し、粉末試料においてもRBS/HFS法が適用可能となった。
ここでは、リチウムイオン電池：負極用SiOX粉末について、組成分析を行った事例を示す。
図2 SiOX粉末試料のRBS/HFSスペクトル
 | 平均原子数比
H/Si O/Si | atomic%
Si H O |
SiOX粉末 | 0.05 1.00 | 49.0 2.3 48.7 |
表1 SiOX粉末試料の組成分析結果
 | H,C,N,O等軽元素～重元素まで同時に組成分析可能 |
 | 確度の高い組成値 |
| (測定対象) |
| ・ | リチウムイオン電池活物質 |
| ・ | セラミックス |
| ・ | 磁性体 |
| ・ | 水素化触媒 |
| ・ | 医薬品 |
分析機能と原理
カテゴリー
電池, 材料・素材
分類
リチウムイオン電池, 金属・無機材料