10/28/2021
No.0514 μRBS/HFSによる微小部組成分析
RBSは正確な組成定量、および深さ分布が得られる手法である。プローブに収束ビームを用いることにより、微小領域においてもRBSが適用可能となった（μRBS）。ここでは、半導体材料の微小部組成分析事例を示す。
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| μRBS/HFS：特徴 | 試料 |
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RBS : Rutherford Backscattering Spectrometry
HFS : Hydrogen Forward scattering Spectrometry
 | ● 作製フロー
光学顕微鏡像 (w/o anneal) |
μRBS/HFS分析例
low  high |  |
Ti マップ |  |
| 各指定領域から抽出したμRBS / HFSスペクトル |
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● アニールにより、TiONが形成、膜厚増加
● N：SiN層から拡散
● TiN表面水素：アニールにより減少 |
| Ti領域のデプスプロファイル (a) : w/o anneal、(b) : w/ anneal | |
カテゴリー
自動車, IT機器, 半導体・実装
分類
有機ELディスプレイ, LSI・IC・メモリ, パワーデバイス・ディスクリートデバイス