12/03/2018
No.0363 NanoSIMSによる半導体デバイスの評価
NanoSIMSは、SIMS(二次イオン質量分析)の中で最も空間分解能のよい分析装置であり、また同時に高い感度、高い質量分解能を両立できる。半導体デバイスにおいて、50nmの空間分解能で、ppmオーダーレベルの不純物の検出が期待できる。
NanoSIMSの装置構成、スペック
NanoSIMSによるSiC-MOSFET (SiC表面)のイメージング測定
Si中C,P,Asの深さ方向分析例
カテゴリー
半導体・実装
分類
パワーデバイス・ディスクリートデバイス
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