09/30/2014
No.0124 ガスクラスターイオン銃搭載TOF-SIMSによる有機物の深さ方向分析
マイルドなエッチングが可能なガスクラスターイオンビーム（GCIB）を用いることにより、有機試料について分子の深さ方向分布を高感度・高深さ分解能で調べることが可能となった。有機薄膜試料の層構成の確認や劣化評価、微量添加剤分布分析などに極めて有効である。
ガスクラスターイオンビーム（GCIB）の特徴
| (1) クラスターサイズが大きく、１原子当たりのエネルギーが非常に小さいため、ダメージの小さなエッチングが可能 |
| 有機分子の深さ方向分布を評価可能 |
| (2) 有機物に対し、機械的に斜め切削面や断面を作製するのに比べ高精度・高深さ分解能であり、試料の材質や構成による制約が少ない |
GCIBによる分析模式図
GCIB/TOF-SIMSによるポリマー積層膜の分析
GCIB/TOF-SIMSによるポリマー積層膜の分析
PAA：ポリアクリル酸、 PET：ポリエチレンテレフタレート
| GCIB（Ar2500+） |
| ポリマー分子の繰り返し構造を反映したイオンを比較的高質量まで観測可能 |
 | PAA： | 71C3H3O2- ，215C9H11O6- |
| PET： | 191C10H7O4- |
|
| Conventional ion beam（Cs+, O2+） |
| エッチングのダメージ：大 |
| ポリマーの積層構造を反映した情報を得ることが困難（特に質量の大きなイオン） |
GCIB/TOF-SIMSによる有機EL素子の分析
分析機能と原理
カテゴリー
IT機器, 材料・素材
分類
有機ELディスプレイ, 高分子材料