06/11/2015
No.0244 インデンテーション･AFMによるミクロ機械特性評価
ナノインデンテーションとAFMフォースカーブ法を使い分けることで、軟質～硬質材料までの幅広い材料の機械特性を測定できる。インデンテーションは高温測定も可能である。本技術は物性測定のみならず劣化や接着等の現象解明の糸口としても活用できる。
●原理と特長
原理図
【適用分野】
・薄膜・フィルムの弾性率・硬さ・密着性
・相分離マッピング（弾性、粘性、Tanδ）
・異物、粉体の機械特性、内外差解析
・表層改質・変質サンプル、積層フィルム 等の
ライン分析
・異種材料界面近傍の機械特性
・耐摩耗性
・クラック耐性 |  |
適切な手法・測定モードの選択により幅広い分野の機械特性測定が可能である。
●薄膜の弾性率・硬さ・密着性測定
基板の影響を考慮した測定を実施。
極薄膜の場合は近似式を用いて弾性率を推定できる。
また屈曲点（図中矢印）の荷重の大小等から密着性評価が可能である 1)。
1)M.Takeda et.al, J. Mater. Res., Vol. 25, No. 10, Oct. 2010,1910-1916.
薄膜の弾性率・硬さ評価
●高温インデンテーション測定
インデンテーションによる高温粘弾性測定が可能になった。
本技術は薄膜や微小材料、特定微細部位の基礎物性測定や劣化解析等に有効である。
高温インデンテーション測定
●AFMによる軟質材料の弾性率測定
AFMで取得されるフォースカーブの精密解析により、インデンテーションで測定困難な軟質材料の弾性率測定が可能になった。
点分析による薄膜・微小部の物性測定、高空間分解能下での分布解析は、軟質薄膜・微小部の基礎物性測定、相分離解析（海島、相溶性）、樹脂／樹脂界面近傍の機械特性評価等に有効である。
軟質材料の弾性率測定
分析機能と原理
カテゴリー
材料・素材
分類
複合材料