10/05/2023
No.0674 分光エリプソメーターによる3軸光学異方性の評価
分光エリプソメトリは試料に光を反射させたときの偏光状態の変化を測定し、光学定数（屈折率・消衰係数）・膜厚をシミュレーション解析から求める手法である。高速分光エリプソメーターM-2000UIを導入し、角度可変ステージにより3軸光学異方性評価が可能となった。
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| 高速分光エリプソメーター：M-2000UI（J.A.Woollam社製） |
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| 屈折率・消衰係数、吸収係数、複素誘電率や膜厚（数十 nm～数 μm程度）、マッピングによる面内分布など、評価可能。 |
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PETフィルムの屈折率の3軸異方性評価
| 角度可変ステージにより、反射測定に加え、試料をあおりながら透過測定を行うことで3軸異方性を評価可能となった。PET（ポリエチレンテレフタレート）の2軸延伸フィルムについて透過ミューラー行列から屈折率の3軸異方性を評価した。 |
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カテゴリー
材料・素材
分類
高分子材料