08/24/2022
No.0616 Backside SIMSの有効性 -積層試料、メタル膜付き試料-
SIMS（二次イオン質量分析）では、高感度で深さ方向の元素分析が可能な手法であるが、表面ラフネスや複雑な積層構造を持つ試料では、深さ方向分解能の低下で正しい分布を得ることが難しい。
当社では、長年培ってきた優れたBackside加工技術により、多種多様な材料に対して深さ方向分解能の高い評価が可能である。
金属電極 / SiC基板の分析
| BSSによって基板中および界面の正確な濃度分布が得られる。⇒ セラミックス等の難加工材料においてもBSSが有効である。 |
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○ 関係論文
・ N. Fujiyama et al., Surf. Interface Anal., 43, 654 (2011)
・ J. Sameshima et al., Appl. Surf. Sci., 231-232, 614 (2004)
・ 宮本隆志, 藤山紀之 : 表面科学, 28, 249 (2007) |
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カテゴリー
自動車, 半導体・実装
分類
パワーデバイス・ディスクリートデバイス