09/25/2014
No.0063 LA-ICP-MSによる太陽電池用シリコンの不純物分布測定
Laser Ablation (LA)- ICP-MSは、laserを集光して試料に照射し、生じた微粒子をICP-MS導入する方法です。ここでは、固体試料を直接分析できる利点を活かし、一方向凝固により作成した太陽電池用シリコンの不純物分布測定に応用した事例を紹介します。
Fig.1 Experimental setup of LA-ICP-MS.
Fig.2 Photograph of ablation craters on a silicon sample.
Fig.3 In-plane distributions of B, P, Ti, Cr, Fe and Cu in a silicon sample.
平衡分配係数の大きなB,Pは面内で濃度分布が少なく、平衡分配係数の小さな遷移金属は濃度分布が認められています。
分析機能と原理
カテゴリー
電池
分類
太陽電池