04/16/2022
No.0600 µRBSによるOLEDデバイスの微小部組成・密度分析
当社では、受託分析会社として世界初となる、高空間分解能RBS装置を導入した。高速収束イオンビームを用いることで、局所領域の正確な組成、密度評価が実現できる。ここではフレキシブルOLEDデバイスにおける、IGZO層組成・密度分析、発光層中Ir定量の事例を示す。
| 従来装置 | 新規装置 |
得られる情報 | 正確な組成、深さ分布 ／ 密度（膜厚値が必要） |
最小スポット径 | 2 mmφ | 2 μmφ |
新規機能 |  | - 微小部分析 ： µRBS
- 高質量分解能測定
- 軽元素の高感度検出 |
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従来RBS ： 空間分解能 2 mmφ
↓
材料探索 ・ 基礎検討段階での適用が主体 |
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新規RBS ： 空間分解能 2 µmφ
↓
実デバイスでの測定を実現 |
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| 材料開発から試作・生産における全てのステージで、同一手法による高精度組成分析が初めて可能に！ |
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TFT中 IGZO膜の微小部全元素組成 ・ 密度分析
試料：フレキシブルOLEDデバイス
目的：TFT中IGZO層の正確な組成、密度分析
従来：組成はオージェ電子分光、TEM-EDXによる半定量のみ適用可能、密度は評価方法無し |
収束イオン(～2 µmφ)をゲート部に照射 デプスプロファイル ・ 高度前処理技術 ＋ 微小部測定
→ 局所領域の正確な組成分析が可能
・ 微小部における密度評価を初めて実現 |
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OLED発光層中 ドーパントの高感度定量
試料：フレキシブルOLEDデバイス
目的：RGB各画素における、発光層中 Ir錯体の正確な定量
従来：SIMSによる試料間比較が唯一の手法 |
収束イオン（～2 µmφ）をRGB各画素に照射 µRBSスペクトル 発光層中Irの正確な定量方法を確立 |
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原材料、材料開発から最終製品まで、同一手法での高精度組成・密度分析を実現
→ OLEDデバイス特性-作製条件の直接的な比較が可能、開発期間の短縮、本質原因解明に貢献します |
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カテゴリー
IT機器, 材料・素材
分類
有機ELディスプレイ, 有機材料・化成品