グロー放電発光分析装置(GD-OES)による深さ方向元素分析

09/26/2014

No.0100 グロー放電発光分析装置(GD-OES)による深さ方向元素分析

GD-OES(Glow discharge optical emission spectrometry) は、Arグロー放電領域内で導電性、非導電性膜を高周波スパッタリングし、スパッタされた原子のArプラズマ内における発光線を連続的に分光することにより、薄膜の深さ方向の元素分布を得ることができる。
水素も含めた各元素の深さ方向分析(定量)が可能であり、分析深さは数nm～100μm程度である。また、ガラス、セラミックス、ポリマー等の非導電試料や非平面部の分析も可能である。

LIB電極の深さ方向元素分析

LIB正極(LiCoO₂)中のF(バインダー)分布を確認するため、GD-OESで評価を行い、GD-MSの結果と比較した。

GD-OES測定結果

※Li,O,FはCo強度でポイント毎に規格化

GD-MS測定結果

GD-OESの分析から、電極深部方向にF濃度が低下する様子が観察できる。
(GD-MSで得られた結果と同様の傾向が得られている。)

分析機能と原理

【無機分析】グロー放電質量分析法(Glow Discharge Mass Spectrometry:GDMS)

カテゴリー

電池

分類

リチウムイオン電池

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