09/24/2014
No.0030 OLEDパネル内の封入ガス成分および出ガス成分評価
有機EL素子は、水分による劣化が懸念されるため、缶封止などの対応がとられる。なお、缶内に封入されたガス成分や、保管温度を変化させた時の出ガス成分などを同定手法として、TPD-MS法が有効である。
下図に、1inchのモノクロ有機EL素子のガラス缶封止内の封入ガスと、温度を変化させた時に発生するガスをTPD-MS法を用いて調べた結果を示す。本手法は、封入ガスを採取するため、特殊なセルを独自に作製し、評価している。
温度による水分放出量の違い
放出ガスの比較
 | 室温 | 100℃ |
| m/z=28 (N2) | 29.0 μl | 28.4 μl |
| m/z=32 (O2) | n.d. | 0.3 μl |
| m/z=18 (H2O) | 0.01 μl | 0.2 μl |
封入ガス成分は、室温ではほぼ窒素のみであったが、100℃では水分や酸素が含まれていた。ゲッタからの再放出などが考えられる。
分析機能と原理
カテゴリー
IT機器
分類
有機ELディスプレイ