10/02/2014
No.0153 STEM-EELSを用いたTi触媒/CNT（Carbon Nanotube）界面の結合状態
STEM（Scanning Transmission Electron Microscopy）に付属した電子線エネルギー損失分光法(EELS；Electron Energy Loss Spectroscopy）は、nmスケールの空間分解能で元素分析等が可能な強力な手法である。最近、測定条件の工夫等により、nmオーダーでの結合状態分析までが可能となった。
Point 1 (CNT/Ti界面)においては、TiCのスペクトル形状が確認できる。
試料提供
(株)富士通研究所 ナノエレクトロニクス研究センター
Ti-L吸収端近傍EELSスペクトル
リファレンススペクトル
CNT/Ti触媒界面において、Ti-Cの結合が存在する。
TEM-EELSよりも空間分解能が高いSTEM-EELSスペクトルから、従来の組成分析以上の情報が得られるようになった。
スペクトル形状を解析することで、組成分析の補助的な役割ができるだけでなく、詳細な結合状態分析まで実施可能である。
分析機能と原理
カテゴリー
材料・素材
分類
ナノ材料