電極の表面形態や組成、皮膜(SEI：Solid Electrolyte Interface)の相対膜厚は、リチウムイオン電池の劣化を敏感に反映するため、その分析は極めて重要である。ここでは、負極の表面分析、および電極の深さ方向分析を行い、劣化品や長期使用品の電極で認められる変化を調べた例を紹介する。なお、これらの分析は、セルの解体を含めて全て大気非暴露で分析可能である。

1粒子ごとに深さ方向分析が可能である。
粒子Iと粒子IIでは、炭素の分布に違いが認められた。
活物質のへき開などの可能性がある。