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09/24/2014

No.0042 BGAはんだボールのμ-X線回折による歪み測定

高性能型のLSIパッケージは、BGA(Ball Grid Array)などのエリアアレイ状に配置したはんだボールでプリント基板に接続されるようになって久しい。このようなはんだボールについては、冷熱サイクル試験前後での残留歪み量の変化をμ-X線回折装置で評価した例を示す。

μ-X線回折装置概略ならびに特徴

μ-X線回折装置概略ならびに特徴

分析例 : BGAはんだボールの残留歪み量評価

信頼性試験(冷熱サイクル試験:-55~125℃、各30分を1サイクルとして、1000回)後の、BGAパッケージ接合部のはんだボールについて、断面研磨し、各箇所で残留歪み評価を行った。

試料の模式図

試料のX線回析パターン

BGAはんだボールの残留歪み量評価

応力テンソル

各箇所のはんだボールに関して、端部と中央部で残留応力の大きさ、方位が異なっており、端部のせん断応力が大きくなっていることが判明した。

分析機能と原理


カテゴリー

半導体・実装

分類

実装・パッケージング