12/20/2021
No.0560 TOF-SIMS MS/MSによるOLED成分解析
OLED有機多層薄膜中のドーパント成分や極薄層（1～数nm）成分について、MS/MSスペクトル取得およびその解析による定性分析が可能である。従来実施できなかった詳細な化学構造情報の取得が可能である。
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TOF-SIMS
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Al／TPBi／CBP：6 % Ir(ppy)3／NPB／ITO
→ Al陰極剥離後、GCIB-TOF-SIMS分析 → MS/MS分析 |
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OLED多層膜のGCIB-TOF-SIMS分析
| 低ダメージエッチングによる、有機成分深さ分布・各層スペクトル取得 |
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TOF-SIMS MS/MSによるホスト、ドーパントの各成分定性分析
| GCIBにて発光層までエッチング後TOF-SIMS（MS）およびMS/MS測定を実施 |
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MS (TOF-SIMS)
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・ OLED多層膜中の 発光層（30 nm厚）、ホスト／ドーパント（6 %）系
・ 各成分のMS/MSスペクトルを取得可能、スペクトルより化学構造解析が可能
・ ドーパント濃度0.1 %以下でも本系は実施可 |
・ GCIB-TOF-SIMS分析では、ホストとドーパントの混在したスペクトルのみ得られ、解析が困難となる。
・ TOF-SIMS MS/MSにより、各成分のMS/MSスペクトルの取得が可能
・ GCIB-TOF-SIMS分析において前後層との分離が十分でない極薄層（1～数nm）の成分定性にも有効
カテゴリー
IT機器, 材料・素材, 半導体・実装
分類
有機ELディスプレイ, 有機材料・化成品, 有機トランジスタ