02/28/2022
No.0586 カバレッジ酸化膜の深さ方向膜質評価
アスペクト比の高いビアでは、カバレッジSiO
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膜は深さ方向に膜質が変化する可能性がある。
本ポスターでは、FT-IRを用いてビアのカバレッジSiO
2
膜の深さ方向分析を行った事例を紹介する。
カバレッジSiO
2
膜の膜質評価
Si-OH基
透過スペクトル
♦ 透過測定で、カバレッジSiO
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膜の膜質について議論できる。
Si-OH基量：Sample A ＞Sample B ＞Sample C
♦ Si-Oの吸収強度から、Sample Aの膜厚が薄いことが示唆される。
カバレッジSiO
2
膜の深さ方向分析
Si-OH基
差スペクトル
♦ 傾斜面を測定することで、カバレッジSiO
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膜深さ方向の膜質評価が可能である。
Si-OH基量： 表面側 ＞ 中間 ＞ 基板側
カテゴリー
自動車, IT機器, 材料・素材, 半導体・実装, ライフサイエンス
分類
電子・機能性材料, LSI・IC・メモリ, パワーデバイス・ディスクリートデバイス, MEMS・センサ・TSV
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