●Cryo BIB法の概要

●	特徴
・	加工時の温度を0～-150 ℃に制御することで 熱に弱い材料の断面作製が可能となった。 特に温度変化に敏感な高分子材料やゲル状材料などに有効。
●	適用可能なサンプル例
・	有機（高分子）材料
・	電池材料、電子部材、半導体材料
・	水分を含んだ材料（半液体）やゲル状材料
・	医療製品、食材、化粧品、塗料など
●	新規装置　スペック
・	トリプルイオンガン仕様
・	加工位置精度　　10 μm
・	最大試料サイズ　50×50×10 mm
・	最大断面幅　　　　10 mm
・	冷却機能　　　　　0～-150 ℃ （1 ℃ step)

●リチウムイオン二次電池部材の解析事例

リチウムイオン二次電池部材は固体電解質やセパレータ、バインダなどのようにイオンビームでの加工時の熱により劣化変形（蒸発、溶融、分解）する材料が多い。
また、試験品などはより加工の影響を受けやすい。クライオBIB加工（+不活性雰囲気制御）を行うことにより、試料本来の構造を評価することが可能である。

分析機能と原理

• 【形態観察】走査電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope：SEM)
• 【形態観察】電子プローブマイクロアナリシス法(Electron Probe Micro Analyzer:EPMA)

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