09/07/2020
No.0438 SEM-EDXと画像解析によるQDシートの評価
液晶ディスプレイの画像鮮明化を目的として、バックライトに用いられるQD（量子ドット）シートについて、SEM-EDX分析により層構成やQD層中の添加粒子の元素情報を得る手法を開発した。当社で蓄積したノウハウを活かした清浄な断面加工技術と、高効率EDX検出器で取得した元素マップ等との組み合わせにより、添加粒子の粒子径や面積比等の情報を定量化することができる。
高効率EDX検出器を用いたQD層の評価
| EDX Mapから得たラインプロファイル |
| 特長 |
低加速電圧による高空間分解能・高効率のEDXマップ
EDXマップからラインプロファイルを抽出している傾向がわかる。
粒子a ⇒ 均一分散
粒子b ⇒ 不均一に分散 |
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SEM像による画像解析結果
| SEM像 三値化像 |
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| Table 粒子a,bの粒子径および面積比率 |
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| 特長 |
SEM像を最適条件で画像処理
面積比、粒子径など数々の情報から、定量的に比較できる。 |
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豊富な情報を提供いたします！ SEM観察 ⇒ 層構成・膜厚
SEM-EDX ⇒ 微小粒子の元素情報、EDXマップによる分布評価
画像解析 ⇒ 粒子径、面積比、ヒストグラム評価 など |
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分析機能と原理
カテゴリー
IT機器
分類
液晶ディスプレイ