09/22/2014
No.0011 STEM-EELSを用いたNi-FUSI(Fully Silicide)/SiO2界面薄層の元素組成
STEM(Scanning Transmission Electron Microscopy)に付属した電子線エネルギー損失分光法(EELS；Electron Energy Loss Spectroscopy）は、nmスケールの空間分解能で元素分析等が可能な強力な手法である。その実例を紹介する。
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| 通常のEELS組成分析では、空間分解能が不足し、周囲の影響を受けて組成差を解析できない。 | Ni-L3スペクトルに認められる微小なショルダー
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Niの状態解析で元素組成を決定する。 |
分析機能と原理
カテゴリー
半導体・実装
分類
LSI・IC・メモリ