トップコート(TPS)有無による溶出挙動変化

トップコートを使用していない系では、表面から約30nmの深さまでPAGの溶出が起きていることが確認された。一方、適切なトップコートを使用した系では、このような溶出は検出されなかった。

光酸発生剤(PAG)の分解(酸発生、露光強度分布)挙動の深さ方向解析

分析機能と原理

• 【表面分析】飛行時間型二次イオン質量分析法(Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry:TOF-SIMS)

カテゴリー

半導体・実装

分類

リソグラフィ