09/24/2014
No.0049 ケミカルフィルターによる酸、塩基の除去
3つの環境において、エア中の酸、塩基濃度をインピンジャー捕集/イオンクロマトグラフ法 により測定した結果を示す。 HEPAフィルターでは、酸、塩基をほとんど除去できないが、ケミカルフィルターでは成分除去 効果がみられている。
| ＊エア採取場所 |
 | ①： | 実験室 |
| ②： | ①内に設置したクリーンブース |
| | | (HEPAフィルター入り) |
| ③： | ②内に設置したクリーンベンチ |
| | | (ケミカルフィルター入り) |
＊分析結果
成分 | エア中の濃度（μg/m3) |
① | ② | ③ |
NOx | 14.1 | 14.3 | 4.7 |
SOx | 9.0 | 3.1 | ND |
アンモニア | 4.5 | 5.2 | ND |
注）NOx=NO2-+NO3-、SOx=SO42-
分析機能と原理
カテゴリー
半導体・実装
分類
クリーンルームエア