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09/24/2014

No.0035 TOF-SIMSによる有機物の高感度分析

一次イオンとしてGa++を用いた測定では、辛うじて85C4H5O2-が検出されていることから異物がメタクリレートであると推定できる。一方、一次イオンにAu3+を用いた測定では、85C4H5O2-が強く、141C8H13O2-、185C9H13O4-、267C13H15O6-なども検出されることから異物はポリメチルメタクリレートであると同定できる。

Siウエハ上微小異物の同定

Siウエハ上微小異物の同定

ポリウレタン樹脂表面の添加剤分析

ポリウレタン表面からは、酸化防止剤による219,569,774amuのピークと紫外線吸収剤による322,352amuのピークおよびCa,Baなどの無機元素が検出された。Ga+一次イオンによる測定では、無機元素の強度が強く、Au+やAu3+一次イオンによる測定では、有機物の高質量数のピーク強度が強い。

ポリウレタン樹脂表面の添加剤分析

Siウエハ広領域のイメージング測定

通常の測定では、500μm□が最大領域であるが、ステージを走査させながら測定することより、最大90mm□の領域の測定が可能である。

Siウエハ広領域のイメージング測定

分析機能と原理


カテゴリー

半導体・実装

分類

リソグラフィ