09/24/2014
No.0046 クリーンルームエア分析 （酸、塩基、有機物）
エアをインピンジャー(写真)に通気・バブリングして、酸、塩基を溶液に捕集、捕集液中のイオンをイオンクロマトグラフィー(IC)で定量してクリーンルームエア中成分濃度を測定した結果を示す。
CRエア分析結果(単位：μｇ/ｍ3)
項目 | CR
1 | CR
2 | CR
3 |
F－ | <0.01 | <0.01 | 0.49 |
Cl－ | <0.02 | <0.02 | 0.05 |
NO2－ | 0.24 | 0.18 | 0.30 |
NO3－ | 2.3 | 17 | 18 |
SO42－ | <0.05 | 0.28 | 1.7 |
NH4+ | 1.2 | 2.3 | 2.1 |
クリーンルームエア分析 (有機物)
固体捕集-熱脱着GC/MSにより、室内、クリーンルーム中のC2～C30有機物を測定した結果を示す。
分析機能と原理
カテゴリー
半導体・実装
分類
クリーンルームエア