10/09/2014
No.0215 SIMS，RBSによるTiAlNメタルゲート材料の評価
High-kゲート絶縁膜のC-MOSデバイスへの採用に伴い、様々な材料がメタルゲートとして試されている。ここでは、有力な候補と期待されるTiAlN材料について、SIMS、RBSにより分析した事例を紹介する。
TiAlNメタルゲート材料の分析事例
SIMSによるAl 組成定量
SIMS分析結果から、RBSに基づいたAl組成を求めることができる。この結果、RBSでは検出できていない、わずかな組成揺らぎを捉えることができている。 同時検出しているClには試料間差が認められる。
分析機能と原理
カテゴリー
半導体・実装
分類
LSI・IC・メモリ