09/22/2014
No.0029 水分・酸素による劣化評価法
有機EL素子は、製造工程・保管時における水分・酸素暴露による劣化が懸念される。ここでは、封止後の素子を特殊な雰囲気に暴露することにより、その影響を評価する手法を紹介する。図は、有機EL素子の保護膜に用いられるSiNx膜を重酸素水(H218O)、および重水(D2O)雰囲気に暴露したものを、D-SIMSにてマーカーである18O、Dをモニタした結果である。SiNx膜の膜種により、浸透する量が異なる。また、18OおよびDのプロファイルから、水分として膜中に取り込まれていることが推測される。
分析機能と原理
カテゴリー
IT機器
分類
有機ELディスプレイ